《重生：指点老爸做寡头，我躺平了》15、 一己之力，超越世界 免费试读
杨玄平台上说的话生动形象，台下一群老教授和年轻学生都惊叹不已。
吴德新教授更加沉思和多疑。“年轻人，我记得...你的那份设计草案是一项使用深紫外线的浸没光刻技术。你为什么现在谈论杜瓦？”
Duv是深紫外，而euv是极深紫外。
“吴老，你放心，接下来我再来说说euv技术。”
杨玄他微微一笑，继续说道:“先从世界商业组织说起。”
“从1997年EUVLLC联盟成立到2003年，EUVLLC的科学家发表了上百篇论文，验证了EUV口罩对准器的可行性，联盟解散！”
“然而，euv技术已经开始在欧美建立和发展……”
“我现在就给你画一幅画。一个完整的euv掩模对准器将涉及这些仪器。”
说，杨玄转身，拿起粉笔，快速在黑板上画。
从光源、物镜、工作台、光束校正器、能量控制器、光束形状设定器、快门、能量检测器、掩模板、掩模板台，以及内部封闭式框架减震器。
共有11个核心组件。
然而，它涉及大量的核心技术，这是科学院闻所未闻的。
与duv的光刻技术不同，euv的光源技术必须配备高端激光器。
毕竟duv只能制造25nm左右的ic芯片，而euv可以制造个位数的nm。
甚至在杨玄重生之前，国产口罩对准器都没能交付duv口罩对准器，更别说十五年前的euv了。
在列出一个小时的绘图和注释后，杨玄在“光源技术”一词上画了一个圈。
他转身拍手继续说道:“各位前辈，euv掩模对准器的核心技术主要在光源技术上。”
“因为黑板太小，我就不详细写出来了。让我尽可能简单地说一下。你可以做笔记。”
“目前获得EUV光源的方案主要有四种……”
它们是:同步辐射源、激光等离子体、放电等离子体和激光辅助放电等离子体
“同步辐射光源的优点是可以产生大功率的EUV光，而且对光学元件没有碎片污染(其他三种方案都会产生碎片)，可以长时间稳定输出EUV光。”
“然而，过于复杂和庞大的器件结构，以及极高的成本，都表明同步辐射源不适合HVM生产。”
"这种来自同步加速器的装置是以100米为单位测量的."
激光等离子体、放电等离子体和激光辅助放电等离子体都通过高能束产生目标的高温上升，从而产生高温高密度等离子体并发射EUV光
“虽然它们的成型方法不同，但可以使用相同的靶材，使用的是常规的tin靶材。”
“激光等离子体以高强度脉冲激光作为驱动能量照射靶，使靶产生高温等离子体并辐射EUV光。”
“其中，几十千瓦功率的激光从圆孔进入，打在滴锡靶上，产生的极紫外光被多层介质膜反射镜反射，会聚在中心焦点。”
大教室里一片寂静。
数百名科学院师生，在这一刻，都聚精会神地听。
在他们面前只有18岁的杨玄似乎为他们打开了一扇新世界的大门，这是极其令人震惊的。
“各位前辈，euv的技术，目前在全球范围内才刚刚建立，我们现在追赶还不算晚。”
杨玄简短发言后，他一本正经地说:“但考虑到实际问题，我个人的意见是，科学院如果愿意，可以成立两个R&D团队。”
“第一个R&D团队，着手放下它，从duv光刻技术开始……”
“第二支R&D队放眼未来，争夺世界，完成euv的扎实理论，进而全面攻克光源技术。”
“目前世界上真正控制掩模对准器光源技术的公司只有两家……”
“一个是美国的Cyme，一个是日本的小松。前者是为什么Lanamax口罩对准器为光源提供技术支持，后者为尼康和佳能提供技术支持……”
“上述两家公司采用的光源技术路线全是激光等离子体……”
“在真空室中，有一个强大的二氧化碳激光器，它穿过真空室，照射出一束超纯锡液滴，每秒钟能射出数万滴。”
“当激光脉冲照射锡滴时，锡滴会被加热成等离子体，产生EUV射线，集镜器将这个过程中产生的光反射到掩模对准器上。”
“同样，上述两家公司也将是全球准分子激光光源的两大制造商。”
经过一个多小时的讲解，杨玄渴了。
最后。
吴德新教授率先起身鼓掌。
随后，整个教室里，数百名师生起立观看杨玄，经久不息的掌声随之而来。
在讲台上，杨玄谦卑的双手合十，一遍又一遍地感谢。
“睁开眼睛，真的睁开眼睛。”
吴德新教授主动上去握住杨玄的手说:“年轻人，duv光刻是我们国家目前的一大难题。”
“你现在已经教会了我们euv的未来，你为国家做出了巨大的贡献。”
“吴！你太认真了。”
杨玄哭笑不得地连连摇头:“我才懂点皮毛，真正为国冲锋陷阵的是你。”
“年轻人，你觉得这样可以吗？”
吴德新教授依旧拉着杨玄的手说:“不管是深紫外还是深紫外，科学院都会决定成立研发团队。”
“按照你刚才说的，一是从现在开始，二是展望未来。”
“我...我代表科学院，也向您发出邀请。”
